產品應用
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濕電子化學品除硼
濕電子化學品除硼
背景：
在半導體工藝中，濕化學品帶來的硼元素可能導致晶圓表面的硼元素超標從而造成污染。硼是一種p型雜質，如果過量的硼在n型區(qū)域中分布，可能會引起逆摻雜，影響產品的良率。
除硼工藝：
技術特點：
向待處理試劑中添加除硼劑反應后，通過膜反應器實現(xiàn)硼雜質的高效脫除，最終獲得雜質含量極低的高純產品。
除硼效果好，硼含量達0.05ppb以下。
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